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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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射频CO2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析

侯廉平, 陈培峰, 王圩, 朱洪亮

2004, 28(2): 137-140.

关键词: 陶瓷基板, 划片机, 光路, 设计

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射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究

侯廉平, 陈培峰, 陈清明

2003, 27(4): 352-356.

关键词: RFCO2激光器, 划片, 氧化铝陶瓷基片, 数值模拟

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